Black Baron

Компания LG сделала важный шаг в развитии оборудования для производства электроники. Её исследовательский институт PRI начал коммерческие поставки новой системы лазерной литографии высокого разрешения. Установка позволяет формировать схемы на кремниевых пластинах и печатных платах без использования дорогостоящих фотошаблонов, что существенно снижает затраты и сокращает сроки производства.

Первые поставки и характеристики

Система LDI (Laser Direct Imaging) уже отгружена двум заказчикам: LG Innotek и одному из зарубежных производителей печатных плат. Стоимость одной установки составляет около 3 млрд южнокорейских вон (примерно 2 млн долларов США).

Новое оборудование использует ультрафиолетовые лазерные лучи, генерируемые встроенным мощным лазерным диодным модулем. Оно способно создавать тонкие схемы с разрешением от 1,5 до 3 микрометров. Технология активной компенсации в реальном времени (RTAC) измеряет и исправляет искажения, обеспечивая высокую точность при работе с подложками размером до 600 × 600 мм.

Система подходит для формирования слоёв перераспределения (RDL) на различных материалах — традиционных печатных платах, кремниевых пластинах и стеклянных подложках. В LG PRI отмечают, что разработка может сыграть важную роль в технологиях упаковки полупроводников следующего поколения, таких как FoCoS и CoPoS.

Почему отказ от фотошаблонов важен

В классических степперных литографических системах перед началом производства необходимо проектировать и изготавливать фотошаблоны. Это специальные пластины, которые пропускают свет по определённым участкам и переносят схему на подложку. Фотошаблоны дороги, а любое изменение конструкции требует их замены. Это увеличивает как стоимость, так и время производства.

Система LG работает по принципу прямого лазерного экспонирования: лазер напрямую «рисует» схему на материале. Благодаря этому отпадает необходимость в фотошаблонах, что делает процесс быстрее и экономичнее.

Альтернативные подходы

Параллельно развиваются и другие способы производства без традиционной литографии. Например, китайский стартап Prinano использует технологию вакуумного наноимпринтинга для создания фотонных чипов. Такие чипы работают со световыми сигналами и применяются в телекоммуникациях. Многие их ключевые элементы — волноводы, решётки и кольцевые резонаторы — представляют собой повторяющиеся наноразмерные структуры, которые эффективно воспроизводятся методом импринтинга.

Запуск коммерческих поставок лазерного литографа LG — заметное событие для отрасли производства печатных плат и полупроводниковой упаковки. Отказ от фотошаблонов позволяет ускорить и удешевить изготовление сложных схем, что особенно важно в условиях растущего спроса на высокоплотные электронные устройства.

Если технология получит широкое распространение, она может стать одним из инструментов, помогающих производителям снижать издержки и быстрее выводить новые продукты на рынок. В ближайшие годы мы, вероятно, увидим дальнейшее развитие подобных решений и конкуренцию между разными подходами к бессшаблонному производству.